Вафли үчүн майдалоочу дөңгөлөктөрдү колдонуу: дискреттик түзүлүштөрдү орой жана майда майдалоо, интегралдык микросхема субстрат кремний пластиналар, сапфир эпитаксиалдык пластиналар, кремний пластиналар, GaAs, GaN, кремний карбиди, литий танталат ж.