Кремний карбид Wafer жукартуу машина негизинен кремний пластинка, галлий арсениди, кремний карбид керамика, цирконий керамика, графит, литий танталат ж.б. сыяктуу субстрат материалдарын жукартуу үчүн колдонулат.
Жогорку тактыктагы вертикалдуу пластинкаларды майдалоочу машиналар SiC, GaN, GaAs, Si, ZnO сыяктуу үчүнчү муундагы жарым өткөргүч материалдарды майдалай алат. DL-GSD сериясы Кытайда өз алдынча жасалган майдалоочу машина болуп саналат, жана анын аткаруу дүйнөлүк стандартка жеткен.